186-2520-2604
ISO 14644 根據懸浮粒子濃度這個指标來劃分潔淨室（區）及相關受控環境中空氣潔淨度的等級，並(bìng)且僅考慮粒徑限值（低限）在0.1um～5.0um 範(fàn)圍内呈累積分布的粒子群。
根據粒子徑，可以劃(huà)分爲常規(guī)粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
空氣潔淨度分級(jí)标準： ISO14644-1 （國(guó)際标準）
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空氣潔淨(jìng)度等級(jí)（N） |
大於(yú)或等於(yú)所标粒徑的粒子最大濃度限值（個(gè)/每立方米空氣粒子） |
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0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
1um |
5 um |
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|
ISO Class 1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
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ISO Class 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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|
ISO Class 3 |
1 000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
|
ISO Class 4 |
10 000 |
2 370 |
1 020 |
352 |
83 |
|
|
ISO Class 5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3 520 |
832 |
29 |
|
ISO Class 6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8 320 |
293 |
|
ISO Class 7 |
|
352 000 |
83 200 |
2 930 |
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ISO Class 8 |
|
3 520 000 |
832 000 |
29 300 |
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ISO Class 9 |
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35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 |
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注：由於(yú)涉及測量過程的不確(què)定性，故要求用不超過三個有效的濃度數字來確(què)定等級水平。 |
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空氣潔淨度分級(jí)标準： GB/T16292-1996 （中國(guó)标準）
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粒徑(jìng) 、數值潔淨度級(jí)别 |
塵(chén)埃最大允許數(shù)/立方米 |
微生物最大允許(xǔ)數(shù) |
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≥0.5um |
≥5um |
浮遊(yóu)菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
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100 級(jí) |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
|
10,000 級(jí) |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
|
100,000 級(jí) |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
|
300,000 級(jí) |
10,500,000 |
60,000 |
— |
15 |
美國(guó)聯邦标準 209D 潔淨室分級(jí)：（已停用）
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空氣潔淨(jìng)度等級(jí)（N） |
大於(yú)或等於(yú)所标粒徑的粒子最大濃度限值（個(gè)/每立方米空氣粒子） |
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0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
5 um |
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|
1 |
35 |
7.5 |
3 |
1 |
|
|
10 |
350 |
75 |
30 |
10 |
|
|
100 |
|
750 |
300 |
100 |
|
|
1000 |
|
|
|
1000 |
7 |
|
10000 |
|
|
|
10000 |
70 |
|
100000 |
10000 |
700 |
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英國(guó) 5295 标準潔淨室和空氣淨化裝置分級(jí) ：
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空氣潔淨(jìng)度等級(jí)（N） |
大於(yú)或等於(yú)所标粒徑的粒子最大濃度限值（個(gè)/每立方米空氣粒子） |
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0.3um |
0.5um |
5um |
10um |
25 um |
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C |
100 |
35 |
0 |
|
|
|
D |
1000 |
350 |
0 |
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|
E |
10000 |
3500 |
0 |
||
|
F |
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